Il sistema di caratterizzazione dei dispositivi ad alta potenza MPI è progettato specificamente per testare dispositivi ad alta potenza su wafer. Il sistema di sonda MPI TS200-HP fornisce una soluzione completa di wafer da 200 mm. Sono progettati per ottenere la misurazione della resistenza al contatto bassa dei semiconduttori di potenza su un ampio intervallo di temperatura.

2,Descrizione del prodotto

1. Progettazione multi applicazione singola macchina

Adatto per varie applicazioni di misura del wafer, come caratterizzazione e modellazione dei componenti, affidabilità del livello del wafer (WLR), analisi dei guasti (FA), ingegneria dei circuiti integrati e sistemi microelettromeccanici (MEMS)

2. Ergonomia e progettazione della sicurezza

Progettazione di una piattaforma galleggiante a sgancio rapido e trascinamento dell'aria per un comodo funzionamento con una mano

Banco di lavoro durevole in grado di trasportare fino a 10 HV ad alta tensione o 4 micro localizzatori HC ad alta corrente

Il design di ArcShield fornisce protezione di sicurezza per la misurazione ad alta tensione

Design della maniglia di sollevamento rapido del banco di lavoro a tre stadi (caricamento della separazione del contatto), ottenendo un'elevata riproducibilità

3. Selezione elastica e aggiornabilità

Ci sono anche varie opzioni di connessione dello strumento e stadi wafer che possono essere aggiornati, così come molti accessori come micro localizzatori DC/RF/mmW, microscopi ottici, lenti di imaging, scatole di schermatura elettromagnetica, ecc che possono essere installati per supportare pienamente le esigenze applicative

3,Caratteristiche e vantaggi

1. Air Stage

La piattaforma per cuscinetti ad aria MPI è progettata con un semplice controllo a disco con una sola mano, che offre una comodità operativa senza precedenti, consentendo una navigazione XY veloce e un caricamento veloce dei wafer senza compromettere le capacità di posizionamento precise e accurate, e dotato di un ulteriore movimento fine e preciso del micrometro XY Theta 25x25mm.

2. Chuck ambientale coassiale 10kV o triassiale 3kV

Le opzioni del mandrino includono il mandrino circolare coassiale 10kV o 3kV di MP o vari mandrini termici ERS, che possono supportare la misurazione della temperatura fino a 300 ℃. Il regolatore di tocco termico è progettato per essere installato sulla sonda, con funzionamento rapido e conveniente

3. Sonde HV/HC

La soluzione di rilevamento ad alta potenza MPI include sonde dedicate ad alta tensione e alta corrente che utilizzano le punte multicontatto proprietarie MPI per ridurre la resistenza al contatto. La sonda ad alta tensione MPI è in grado di misurare la corrente di perdita bassa durante test ad alta tensione, testando fino a 3 kV a tre assi o impostazioni coassiali da 5 e 10 kV

4. Sicuro e preciso

Il sistema di sonda manuale ad alta potenza standard è dotato di DarkOX, che fornisce funzioni di sicurezza ad incastro e schermatura EM per garantire misurazioni a basso rumore, accurate e sicure.

5. Integrazione degli strumenti

TS150-HP/TS200-HP può essere configurato con vari pacchetti di connessione strumenti, tra cui sonde ad alta tensione/alta corrente necessarie e accessori di cablaggio, per ottenere un collegamento ottimale con Keysight B1505 (3kV o 10kV) o Keitley e altri strumenti di prova 2600-PCT-XB, compresa l'integrazione del pannello di interfaccia 8020 ad alta potenza.

4,Parametri funzionali

1. specifiche

2. Piastra di pressione della sonda

3. Mandrino ad alta potenza non termico